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      特種氣體中電子氣體是什么

        來源:www.speedycars.net
        特種氣體是指在特定領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體,特種氣體主要包括電子氣體、醫療氣體、標準氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等,主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。那么你知道電子氣體是什么嗎?
        電子氣體是超大規模集成電路、平面顯示器件,化合物半導體器件,太陽能電池,光纖等電子工業生產不可缺少的原材料,它們廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。例如在目前工藝技術較為先進的超大規模集成電路工廠的晶圓片制造過程中,全部工藝步驟超過450道,其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。電子氣體輸送系統是指為滿足工藝制程的需求,在充分保證工藝和產品安全使用的前提下,將電子氣體從氣源端無二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數、穩定地輸送到工藝生產設備的用氣點。根據氣體性質和供應包裝的不同,一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。

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